結(jié)合了工業(yè)顯微鏡和AOI系統(tǒng)的線激光和基于圖像的自動(dòng)聚焦和跟蹤。MSG圖像自動(dòng)聚焦作為一個(gè)跟蹤聚焦,而不像典型的對(duì)比度圖像聚焦。通過(guò)根據(jù)表面自動(dòng)選擇聚焦方法,獲得更加穩(wěn)健的聚焦結(jié)果。
控制接口步進(jìn)/伺服電機(jī)。適用于放大2倍至100倍的校正透鏡,VIS、NIR、NUV、DUV。UI界面和軟件庫(kù)。
性能特點(diǎn)混合自動(dòng)聚焦模式,可智能選擇激光或圖像聚焦,以優(yōu)化速度和精度,幾乎消除激光壞點(diǎn)問(wèn)題,同時(shí)仍能準(zhǔn)確跟蹤
該系統(tǒng)具有完整的Z軸閉環(huán)系統(tǒng),帶有傳感器和電機(jī)控制。它帶有一個(gè)軟件界面,便于設(shè)置、使用和診斷所有必要的傳感器和電機(jī)參數(shù)。易于集成到現(xiàn)有軟件架構(gòu)中。
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